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智能化設(shè)計(jì)、高配置、高穩(wěn)定性機(jī)型。
PC控制系統(tǒng)，更好的可操控性可編程設(shè)計(jì)。
5“人機(jī)界面，全中文操作系統(tǒng)，更方便操作。
適合多種材料勻膠、制版工藝。
廣泛應(yīng)用于微電子、光電子、通訊、微機(jī)械、材料科學(xué)及新能源等領(lǐng)域
采用無刷伺服電機(jī)，全閉環(huán)數(shù)字編碼器測(cè)速機(jī)構(gòu)，實(shí)測(cè)整個(gè)過程馬達(dá)速度。 機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、生銹，便于清洗。
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺(tái)底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。透明可視密封蓋可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢出有效隔絕有味的散發(fā)。
配有真空泵電源輸出接口與抽氣接口，由界面集中控制。
旋涂程序：用戶可通過PC界面設(shè)置和存儲(chǔ)工藝參數(shù)，可存儲(chǔ)15組參數(shù)，支持多段速。
轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-5,000rpm
旋涂加速度：0-5000rpm/sec，加、減速時(shí)間可自由設(shè)置（0-20000ms）
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 ±1rpm
測(cè)速精度<0.2rpm
工藝時(shí)間設(shè)定： 0-9,999.9 sec/step 0.1 精度
可鍍膜尺寸5mm-200mm(8〞)
旋涂作業(yè)均勻性：< ±3%
支持基片厚度≤5mm
勻膠腔室內(nèi)徑：Ф260mm ，不銹鋼材質(zhì)、可視透明上蓋
抽氣接口: Ф8mm快速接頭，配Ф8mm透明抽氣管
樣片托：根據(jù)實(shí)際尺寸定制。
真空泵：配100L/min無油真空泵一臺(tái)
電源輸入： AC220V/240V 50HZ
整機(jī)功率：630W （真空泵230W 主機(jī)400W）
機(jī)身重量：11Kg
真空泵重：6.0Kg
設(shè)備尺寸：280×360×240mm
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